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| WVG（水蒸气发生器） |
 1995年 Fujikin®Carp®Group突破传统燃烧式水蒸气发生器范畴，利用触媒反应，成功地开发出高纯度水蒸气发生器。经由不断耐用性等相关测试，取得各种数据，并经过不断地改良，终于成功地研发出目前所使用的水蒸气发生器（WVG）。和燃烧式水蒸气发生器相比，WVG由于可在低温状态下产生水蒸气，故除具备绝佳安全性外，还可实现无沾染目标。其次，流量、控制范围宽广的优点，受到目前各种制程的采用。
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| 产品特性 |
●利用H2和O2流经反应炉后产生触媒反应而形成水蒸气，可在低温（350℃）的状态下产生水蒸气。
●浓度控制范围广泛——可控制1%～100%范围的水蒸气浓度，控制范围广且精度相当高。
●卓越的安全性——低温运作，且反应炉下方安装线上气体浓度侦测器（IN-LINE GAS SENSOR），
当未反应气体浓度上升时，该侦测器会立刻发出警告或报警讯号。
●各种自动闭锁功能——当发生异常时，极其会自动传输警报讯号，并切断WVG加热器的电源。
●安全规格——符合CE标志。SEMI-S2规定
●超薄氧化膜控制（富氧制程类型O2 RICH TYPE）
●水蒸气发生条件——除可形成O2水蒸气外，还可形成H2水蒸气，故适用于“选择氧化”等新制程。
●使用压力条件——常压（0.2Mpa以下）。可自行选用制作减压、高压类型。
●无沾染——完全通过触媒反应形成水蒸气，故完全不会发生沾染情况。且配管采用SUS316L材质，
连接部位采用UPG接头，保证持续稳定供应超高纯水蒸气气体。
●用途——可广泛用于扩散机台、RTP机台等热处理机台等各种制程范围。
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WVG（水蒸气发生器）
该产品特别针对ULSI期间制造工程中，品质要求特别严格的湿（WET）氧化制程，利用H2和O2等触媒反应，而研发出的水蒸气发生器。
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