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New Mega系列膜片阀
适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。
并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。
口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理
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Mega系列膜片阀
适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。
口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理
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软管·金属膜片系列
适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀采用金属软管结构，具备高气密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。
口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达16.2Mpa 材质：SUS316L EP级处理
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标准系列
针阀：口径：1/4”～1/2”最高使用压力达4.9Mpa 材质：SUS316 EP级处理
超迷你球阀：口径：1/4”～1/2”最高使用压力达16.2Mpa 材质：SUS316 EP级处理
线上逆止阀：口径：1/4”～1/2”最高使用压力达16.2Mpa 材质：SUS316 EP级处理
过滤器：口径：1/4”～1/2”最高使用压力达16.2Mpa 材质：SUS316 EP级处理
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高耐用型阀系列
Mega系列高耐用型膜片阀：在Mega系列膜片阀性能基础上，具备着卓越的耐用性，使用次数可达到3000万次以上，并且Cv值更高。
电子式小型直接隔膜阀（ECV）：特殊材料以及高纯度气体用直接式隔膜阀，采用超强力螺线管，使其制动器实现小型化的同时，高速关闭也成为可能。 |
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大流量阀系列
直接式隔膜阀，可对应高压气体官署认证品。
口径：1/4“/1/2” Cv值范围：0.25 ～1.5 最高使用压力范围：1Mpa ～20.5Mpa
使用流体温度范围：-10 ～40℃ EP级处理 |
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高温阀系列
Mega系列高温阀是可以对应最高达350 ℃的全金属阀门。与专业的加热器搭配使用，能够有效防止高温制成或排气处理时产生的生成物附着。
口径： 1/4”～1/2”最高使用压力1Mpa EP级处理
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两段式切换气动阀
此阀门是为了防止流体急剧流入最先进半导体制程机台的腔体等内部，导致微粒四处飞扬污染腔体而被研发出来的。采用直接式隔膜结构，经由操作压导入切换，可达到正确切换流量的效果。
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