应用领域

半导体行业
半导体液晶等行业的制造工序中对气体纯净度要求极其严格，而Fujikin_®Carp_®Group 的超高纯产品是在世界No.1的超级洁净室中制造出来的。并且安装·检查的工序都是在极端超洁净室中进行，对客户保证了其品质是值得信赖的。

主要应用产品

超高纯仪表阀

可用于半导体、液晶及LED等行业
特气（SPECIAL GAS）
气瓶柜（C/C）
气源分配箱&气源分配器（VMB/P）
Hook up 及各种薄膜、蚀刻、CVD设备中

高纯管件

F900系列卡套接头	UPG接头系列
UJR接头系列·自动熔接用接头系列	V-lok系列卡套接头

大口径阀系列
子品牌Carten产品

波纹管阀HFC series	膜片阀 SPDS series
球阀CBV series

可用于半导体、液晶及LED等行业
大宗气体（BULK GAS）液化气罐用

流体控制系列

IGS(模组化气体供应系统)	FCS-T2000(热式流量计)
FCS-P(压力式流量计)	FCS-T1000(热式流量计)

可用于半导体、液晶及LED等行业
薄膜、蚀刻、CVD等多种设备的流体控制系统中。